የሊተር ጣልቃ ገብነት አሠራር (2)

የ Monolayer እና Multilayer ማዕድል ፊልሞች አደራረግ

በቅርብ ጊዜ የላዎች ብረታር ጣራዎች ለረጅም ጊዜ በተደጋጋሚ ጊዜያት ለስላሳ የሜዳዎች ሜዳ ንድፍ ስራዎች ጥቅም ላይ ውለዋል. የውጭ ጣልቃ ገብነት ቴክኖሎጂ ማይክሮኬጅን እና ማይክሮኤነክስ እና ማይክሮሚካኒክስ (ማይክሮኤሌክትሮኒክስ እና ማይክሮካኒካኒክስ) ለመተግበር ቀለል ያሉ ፊልሞችን ለማይክሮኬጅን እና ማይክሮኖግራፍ መዋቅር ከፍተኛ አቅም አለው የላአየር ጣልቃ ገብነት አቀማመጥን በጦት እና በበርሊንደር ፊልሞች መካከል ባለው ግንኙነት ላይ ጥልቅ ጥናቶች ተካሂደዋል. በዚህ አይነት መስተጋብሮች መካከል የተከሰቱ የተለያዩ ክስተቶች, የማይዛባ ቀውስ መቀየሪያ, የሂደት መቀየር, የአልሜላክ ግብረመልሶች, ወዘተ.

የጦማራ ፊልም አደረጃጀት

አንድ የኬሚካል ማስተላለፊያ ስርጭት በአጉሊ መነፅር ሲጋለጥ በጨረፍታ ላይ የሚንፀባረቀው የኃይል ማመንጫው የኃይል ፍጆታ መጠን በተለያዩ ተጽዕኖዎች ላይ በመመርኮዝ የመገኛ ቦታ ሙቀት, ሙቀት, እና ትነት እንዲኖር ያደርጋል. በአብዛኛዎቹ ሁኔታዎች ላስቲክ ፊልሞች ላርካራዊ ቅርፅ ያላቸው ማልመጃዎች ከፍተኛ መጠን ያለው የላበተ ኃይልን ይጠቀማሉ. ከታችኛው ክፍል በታች ባሉ ደካማዎች ምክንያት ከፍተኛ መጠን ያለው የላቦር ሞለኪውል በሚቀረው ፊልም ውስጥ ተወስኖ ሲሆን ከረቀቀ ፍንዳታ ጊዜ ጋር ሲነፃፀር በጣም ረጅም ጊዜ የሚፈጅበት ጊዜ ነው. ረዘም ለረጅም ጊዜ መፍለስ የሚፈጀው ጊዜ እንደ የሰውነት ማፅዳት (ሃይድሮሎጂካል ቅልቅል ፈሳሽ) ያሉ አካላዊ ሂደቶችን ያመጣል. ምስል 11.15 በብርድ መጋረጃዎች ላይ ተረክበው በ 18 ዲግሪ ጥፍጥፍ ጥፍሮች ላይ በ 2 ባዮም እና አራት የአረም ጣል ጣልቃዊ ቅርፅ የተሰሩ የተለመዱ ወሳኝ መዋቅሮችን ያቀርባል. እንዲህ ዓይነቱ ወቅታዊ የመሬት አቀማመጥ ወቅታዊ ገጽታዎች በቀዝቃዛ የፊልም አቀማመጥ በ "ሙቅ" እና "ቀዝቃዛ" አካባቢዎች (Kaganovskii et al. 2006) በተደጋጋሚ በማጣራት ነው.

የፊልም ወፍራም ውስብስብ ሂደት በሚካሄድበት ጊዜ በየጊዜው የፊት ገጽታዎችን በመፍጠር ረገድ ከፍተኛ ሚና ይጫወታል. ለስላሳ (ውፍረት / 17 ሴንቲሜትር) ብርጭቆዎች በወረቀት ላይ በሚገኙ ክረቶች ላይ የወርቅ ፊልም, የቀለጠውን ፊልም ሞቃት በሆኑ ክልሎች ላይ የሚደረገውን (የተደመቀ) ፊልም (ፊውቸት) መቆጣጠሩን ተስተውሏል. ሆኖም, ለትልቅ ፊልሞች (ውፍረት > 17 ናም),

ምስል 11.13 የታመች የ Lime ፎቶግራፋጭ የ SiGe ፊልሞች በላሊ ሁሇት ሙቀቶች (ኮሌት) ውስጥ (ሀ) 25 ° C (እና) እና (b) 740 ° ሴ በዴንጋጭነት ተረጋግጠዋሌ. (ከኤሴሌ እና ከተቀነሰ 2003 ጋር. ከተፈቀዱ የቅጂ መብት ኤሊቬረል) በተቀነባበረ ከፍተኛና ዘመናዊ የወቅታዊ መዋቅር ውጤትን (በተጣራ ፋንታ የውኃ ማቀዝቀዣ) በውቅያኖሱ ውስጥ ያለውን የውሃ ፍሰትን ያጠናቅቃል. ከዚህም በላይ የፊልም ውፍረት የስነ-መለዋወጥ ለውጦችን እና የጊዜያዊ መዋቀጦችን ለመገፋፋት የሚያስፈልገውን የጨረቃ መጠን (ማለትም, የኃይል ጥንካሬ) ያስቀምጣል. ስእል 11.16 የሚያሳየው በ 5-15 nm በስፋት ውስጥ ለሚፈጠር የፊልም ውፍረቶች ነው, የመግቢያ ጥንካሬው ደግሞ በፊልም ውፍረት ይቀንሳል. ከ 15 nm በላይ ለሆኑ ፊልም ውፍረቶች, የመግቢያ ጥንካሬ በድምጽ ውፍረት (ኬጋኖቭስኪ እና ሌሎች 2006) ውስጥ ይጨምራል.

ምስል 11.14 የሲጂ ፊልም ምስልን በማጣራት ላሜራ ጣልቃ ገብነት ክሎቪላይዜሽን (SLIC) በመጠቀም የተሰራ ምስል. የሰብል ድንበሮችን በዓይነ ሕሊናዎ ለማስቀመጥ ሰሌዳን ፕላሚክ ማሽግ ተመርጧል. (ከኤይሌል እና ሌሎች 2003 ጋር እንደገና የታተመ ነው. ፍቃድ በብለሽ ባለስልጣን Elsevier.)

ስዕሉ 11.15 በ 18 ማይል ወርቅ ወፍራም ፊልም ላይ የተገነባ ወቅታዊ መዋቅሮች (ሀ) ሁለት ባይት የላተስ ማረፊያ እና ሌሎች 2006. ፈቃድ. የቅጂ መብት የአሜሪካ ዲግሪ ፊዚክስ.)

የበርካታ ደንብ ሜታሊካል ፊልሞች አወቃቀር

የብዙ ስብስቦች ፊልሞች በኬራስ ጣልቃ ገብነት ሂደት ውስጥ በአብዛኛው ስራው የሚሠሩት ፕሮፌሰር ሙክኪሊስ እና በጀርመን ውስጥ ባለው የምርምር ቡድን ነው. የተለያዩ የብረታ ብረት ቁሳቁሶች ጥቁር እና ትሪሊየር ፊልሞችን በብረት መስታወት ላይ ለማጣራት እና በጨረር አማካኝነት በተነሱበት ጊዜ

ምስል 11.16 በ 18 ማይል ወር የጨረር ጣልቃ ገብነት ሂደት በመጠቀም የፀረ-ተፅዕኖ ለውጦችን እና ወሳኝ መዋቅር ለመፍጠር የሚያስፈልገውን የተገመተ የመጠን ውስንነት ለውጥ. 1, 2, 3 እና 4 የተለጠፉት ቋሚዎች ከየጊዜው የ 2, 3.5, 5, እና 10 ናም ርዝማኔ ጋር የሚጣጣሙ ናቸው. በዚህ ስእል ላይ የሚታዩት የሙከራ ነጥቦች ለ 5 ና የጊዜ ርዝማኔ ያገኙ ናቸው. (ከ Kaganovskii እና ሌሎች 2006 ጋር የታተመ ነው. ፈቃድ ባለው ኮፒራይት አሜሪካን ፊዚክስ የፊዚክስ ተቋም). ከተጋለሉ ፊልሞች በተቃራኒው, ባለ ብዙ ማይረቢል ፊልሞች በብረታ ብረት መለኪያዎች (ቴራቴክቲካል) ብስለታዊ ልዩነት እና በተለያየ መልክ ለጨረራ ጨረር (ራ ጨረሮች) በተለያየ ምክንያት ምክንያት ውስብስብነት ያመጣሉ.

በላይኛው የላይኛው ሽፋን ላይ ከፍተኛ የማቅለጥያ ንጥረ ነገር ያላቸው ባለብዙ ማልቲቭ ፊልሞች በቦርሳው ጉልበት አቀማመጥ ላይ በመመርኮዝ የሶስቱ ተፈጥሯዊ መዋቅሮች ተለይተው ተስተውለዋል. ጣልቃ-ገብነት, የተካ-ሚ-ኒል-መነፅር, እና ቲ-ኒ-መነፅር ተገኝተዋል. በአንዳንድ የኬላ ኢነርጂ (ኤፍ) ላይ, ረቂቅ የብርሃን ኃይል ከዝቅተኛ ቅልቅል ጋር የተዋቀረውን የታችኛው ሽፋን መቀነስ በቂ ነው. የታችኛው ሽፋን መቀላቀል ባልተመረቀ የላይኛው ንብርብር (ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ የተዋቀረ) የተፈጠረውን ከፍተኛ ግፊት ያመጣል. የላይኛው ሽፋኑ ውጫዊ ቅርፆች የፊልም ገጽታ ላይ በየጊዜው የሚታዩ ናቸው. መሣሪያው በሰንጠረዥ 11.17 ውስጥ ከፍተኛው የመቀልበስ ጠቋሚ ንጣፍ የላይኛው ንብርብር ሲወክል እና ቢ ደግሞ ዝቅተኛ የማቅለጥያ ቁሳቁስ ታችኛው ክፍል ይወክላል. የጨረር ብሌን ፍጥነት ከ F የበለጠ ቢጨምር, የ B ን መቀነስ

ምስል 11.17 የላይኛው ንብርብር (A) የላይኛው ሽፋን እና ዝቅተኛ የማቅለጥያ ቁሳቁስ (B) ባለ ሁለት ሽፋን ምስሎች በሌስተር ጣልቃ-ገብነት ማቀናበር ሂደት ውስጥ የተለያዩ የንፅፅር ሞራሮች እንዲፈጠሩ የፈረሙ ዘዴዎች-(ሀ) (ለ) የላይኛው ንብርብር ሲቃጠል የሚፈጠረውን የላይኛው ሽፋን ማስተካከል, (ሐ) የላይኛው ንጣፍ መፍረስ, (መ) የቁሳቁስ ማስወገጃ በሚነሳበት ጊዜ ወሳኝ ንድፍ, እና (ሠ) ረዣዥም የኬር ማላጣይ ከፍተኛ ዋጋ ያለው ንድፍ. (ከላካኒና ማርክሊግ 2005 በድጋሚ የታተመ). የቅጂ መብት Elsevier.

ሽክርክሪት A እስኪጨርስ ድረስ ሽፋን ይቀጥላል. ውሎ አድሮ የንብርብር ክፍፍል (ብስጭት) መፈጠርን ያመጣል. ይህ ማለት ቁሳዊ ማስወገጃው ከሚነሳው የኬላ ፈሳሽ ጋር ይዛመዳል. በመገናኛ ብክለቱ ምክንያት ከፍተኛውን መጠን መወገድ በዲቪዲው ውስጣዊ መዋቅር ውስጥ በሁለት ተከታታይ ጫፎች መካከል ያለውን ድብርት ያስከትላል. ከኤ ል በላይ የላጣጌ ፈሳሽ ጭማሪ መጨመር, በተጨባጭ ወቅታዊ መዋቅር ምክንያት በሚከሰተው ጣልቃ-ገብነት ከፍተኛ ጭንቀት ላይ የቁሳቁስ ጭንቀት እየጨመረ መሄዱን ያስከትላል. እነዚህ ዘዴዎች በተለያዩ ልውውጦች አማካኝነት በሌዘር በኩል ጣል ጣልቃ ገብነት በሚታወቀው የቢሜልቲክ ፊልሞች የተሠሩ ውጫዊ መዋቅሮችን በመሞከር ላይ ናቸው. ምስል 11.18 የፊንዲ (Fand F) ከ 151 እና 201 ሚ.ግ. / ሴ.ሜ. ክብራዊነት (ላንጌኒ እና ማክሊት 2005a, ለ) ጋር የሚጣጣም የፎን-ኒካትስ ሲስተም (ፔይ ኒክስስ) ስርዓትን ያሳያል.

ሁለት ዓይነት የተለያዩ ማዕድናት ያሏቸው ጥቃቅን ፊልሞች የተለያዩ የንብርብሮች መቀልበስ ባህሪን ለመለየት የተጠናከረ የሙከራ ሞዴል ሞዴል ጥረቶች ተከናውነዋል. እነዚህ ሞቃት ሞዴል ጥረቶች በ Eq ተመሳሳይ የሙቀት ማዛመጃ እመርታዎች ላይ የተመሠረቱ ናቸው. (11.4). ምስል 11.19 በ Laser Interference ንድፍ የተጋለጠው ባለ ብዙ-ኒዩ-አል ፊልም በተወሰኑ ክፍፍል ትንታኔዎች ላይ የተመሠረተ አንድ ሞዴል ውጤት ይሰጣል. የሶላር እና የኒሊን ንብርብሮች የንብርብሮች ውፍረት በ 20 እና በ 30.3 ናም እያንዳንዳቸው የየራሳቸው መጠን በ 355 ናሜር ርዝመት ያለው የ Q-ተቀጣጣይ ናሙና ነው. ይህ አኃዝ በኒኬሊን ጥራዞች ላይ ከፍተኛ መጠን ያለው የአሉሚኒየም መጠን እንደሚቀልጥ ያሳያል. ተመጣጣኝ የሆኑ የኒኬል ንብርብሮችን አስፈላጊ መቀነስ ይጠይቃል

ስዕሉ 11.18 በሊች ጣልቃ ገብነት ዓይነቶች የተሸፈኑ የ Fe-Ni-glasses ፊልሞች ውስጥ የተለያዩ የመሬት አቀማመጦች እና ቀለል ያሉ መገለጫዎች.

ከፍ ያለ የላሊስ መበታተን በአሉሚኒየም ከሚገኘው ከፍተኛ የኒኬል መቀልጫ ምክንያት ነው. በተጨማሪም, በሉዛር ጣልቃ-ገብነት ስር ያሉ ባለብዙ መልየር ፊልሞች መዋቅራዊ መዋቅሮች በጨረር-ቁሳዊ መስተጋብሮች ላይ በሚታወቀው የሙቀት መጠን (Daniel et al. 2004) ላይ በሚፈጥሩት የሙቀት ሁኔታ ምክንያት በውጥረት እና በስብርት ስርጭት ለውጥ ጋር የተያያዘ ነው.