Laser micromachining - አዲስ ቴክኒኮች እና የማሳያ ማመልከቻዎች ማደግ

ማሟላት

  የማሳያ መሳሪያዎች ማሳያ ቦታዎች በቅርብ ዓመታት ውስጥ በፍጥነት ማደግ የጀመሩ ሲሆን እነዚህም መሻሻሎች ምንም የሚያሳዩበት ምልክት አይታይባቸውም. በዚህ መስክ ውስጥ ከተመዘገቡት ዋና ዋና ተግባራት መካከል አንዱ ለተለያዩ የማይክሮፎን ስራዎች ስራዎች ጥቅም ላይ የዋለ ነው.ይህ ወረቀት በፖሜል ቁሳቁሶች ውስጥ አዳዲስ ማይክሮስትራክቸሮች ለማምረት ኤምቲየር ሌዘር በመጠቀም የተዘጋጁ የተወሰኑ ቴክኒኮችን ይገልፃል. ተዘጋጅተው የተሰሩ ማይክሮዌብሎች ዓይነቶች ናቸዉለመሳሪያ መሳሪያ አፕሊኬሽኖች የመተግበር ሁኔታ ተገልጿል. የማሳያዎቹን ማተሚያዎች በሚፈለገው ጊዜ ማምረት ይጀምራሉ.

 1 መግቢያ

  በቅርብ ጊዜ የዲጂታል ግንኙነቶች እና የባለብዙ መድሃኒቶች ስርዓቶችን መጨመር በኤሌክትሮኒክ ውጤቶች, በመዝናኛ መዝናኛዎች እና በንግድ እና በቤት ውስጥ የመሳሪያ መሳሪያዎች ላይ እየጨመሩ ያሉ ውስብስብ የቴክኒካዊ ጥያቄዎች ወደ እሳቤዎች እንዲመሩ አድርጓቸዋል.ከእነዚህ ውስጥ አንዳንዶቹ በከፊል የሽያጭ ማምረቻ መስፈርቶች የተጠበቁ ናቸው, ነገር ግን ሌሎች ወሳኝ አባላቶች በዘመናዊው ሚዩኤሌክትሮኒክስ ስርዓቶች ተጨባጭነት ምክንያት በመነሻነት ብቻ መልስ መስጠት አለባቸው. እነኚህን ለማሟላትየኬሚካልና የኬሚካሉ አቅርቦቶች በአሁኑ ጊዜ በልማትና በአምራች አካባቢዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ እየዋሉ ይገኛሉ ምክንያቱም ልዩ የሆነ ማይክሮ የተሰሩ ማቀነባበሪያዎች, ቅልጥፍና እና ልዩ ጥራትን ያመጣሉ.

  በብዙ የማሳያ ትግበራዎች, ባለአነስተኛ የፎቶሊፖልመር ቁሳቁሶች እንደ የአዕምሮ እይታ (AOV), የባህሪ ገለፃ እና የብርሃን ብሩነት በእጅጉ እንዲሻሻል ያደርጋሉ [1]. እነዚህ የሚሰሩ ናቸውብዙውን ጊዜ ማሻሻያዎች በአብዛኛው እነዚህን የፎቶፖልሚነሮች (ማይክሮፖች ሞለኪውሎች) ተጨማሪ ማይክሮከንሲን በተገነባ አሠራር በመጠቀም የተሻሻለ የጎን-ዘንግ ክንውን (አግልግሎትን) ያቀርባሉ. በከፊልሪ, የዲከላይ ክሪስታል ማሳያ (ኤል.ሲ.ሲ) መሳሪያዎች, ጀርባ ሽፋንም ይሁን ቀዶ ጥገናበአካባቢው የብርሃን ሁኔታ ሥር, እነዚህን እድገቶች ተጠቅመዋል. ይህ ወረቀት የዲዛይን ማይክሮ / ማስነሻ ቴክኒኮችን በመጠቀም የተሠሩ የተለያዩ ማይክሮ-መዋቅሮችን ለማምረት አዲስ ዘዴዎችን ያብራራልየጨረር ማሳያ መሳሪያዎች.

2. መሣሪያዎችን እንዲያንጸባርቁ የሚረዱ ስልኮችን

  በማሳያ መሳሪያዎች (በተለይም ተንቀሳቃሽ ሊሆኑ የሚችሉ) ብዙ ጥቅሞች አሉ. የአጠቃላይ ብርሃንን በተለመደው ቀዶ ጥገና በመጠቀም, ከሁሉም ይበልጥ አስፈላጊ የሆነው የኃይል ፍጆታ መቀነስ ነው. የአካባቢው ብርሃን ግን የተወሰነ ነውየአየር ማቀጣጠያ ስርዓቶች ውስንነቶች እና የአሰራር ዘዴዎች እነዚህን ውሱንነቶች በአእምሯቸው መያዝ ይኖርበታል. ለምሳሌ ያህል በሞባይል ስልካዊ ስልኮች ባሉ እጅ ውስጥ እንደ ተለቀቁ ክፍሎች, የተጠቃሚው ጭንቅላት እና ሰውነት አብዛኛው የሚገኘ ብርሃን እና የመሳሰሉትን ያጠቃልላል.ለየት ያለ ፕሪሚቲክ መዋቅሮች የንጥል ብርሃን በንቃጤ ለመቀየር ጥቅም ላይ መዋል አለባቸው. ምስል 1 ከተቀሪው ራስ በላይ ከሚታይበት የተለመደ የ LCD ማሳያ አሠራር (schematic representation) ያሳያልማሳያውን በተመልካቹ ላይ አንጸባረቀ, ማሳያውን ምቹ በሆነ አንቴና መያዝ ይችላል. የእነዚህ መሣሪያዎች አላማ ይህ "ግርደትን" ለመቀነስ እና የታየውን ምስል ብሩህነት ለመጨመር ግምታዊ ነጸብራቅ የተቆራረጠ ነው.

  በስዕል 1 ውስጥ ለኤል ዲ አር ኤል የጀርባ ብርሃን መስጫው አማራጭ እንደ አማራጭ ይታያል ምክንያቱም ፕሪሚታይታዊ መዋቅሮች በእውቀት ምርቶቹ ላይ በመመርኮዝ, በሚያንፀባርቁ, በግብረ-ስጋ ልውውጥ, በመተላለፍ ወይም ሙሉ ለሙሉ የሚተላለፉ ሁነቶችን መጠቀም ይቻላል. ከመቼ ጀምሮፕሪማይቲክ ባህሪያት በፖሊሜሪክ ጥራጥሬዎች ውስጥ ይገኛሉ, እነሱ አሁን በተለምዶ በሚዛወረው የብረት ሜጋዎች ነው. ምንም እንኳን አሁን ያሉት ዘዴዎች ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ክፍሎች ቢያስቀምጡም ጨምሮ, በርካታ መዘዞች አሉት

  ለተደጋጋሚ እና ውድ ውድመጃ መሳሪያዎች አስፈላጊ

   ውስብስብ ወይም ባለ ብዙ ዲግሪ አወቃቀሮችን ለመስራት ተችሏል

   የማካሄድ ሂደቶች

   የሙከራ ደረጃዎች አፈጻጸም, ማለትም, አስፈላጊ የሆኑ ክፍሎች እንዲፈጠሩ ማስተርጐም አለባቸው

   አሁን ያሉት የብረታቱ ጌቶች በጣም ተሰባስበው ለሜካኒካዊ ጉዳት የተጋለጡ ናቸው

  ከላይ በተጠቀሱት ገደቦች ምክንያት, የላስቲክ ማቀነባበሪያ ዘዴዎች እነዚህን ተመራጭ ባህሪያት ለማምረት በጣም ጥሩ የሆነ አማራጭን ያቀርባሉ ምክንያቱም ተፈላጊውን መዋቅሮች በቀጥታ በፖሊሜትር ናሙናዎችሁለቱንም ያጣቀሰ እና ያለምንም እውቀት.

 2.1 ሌዘር Micromachining

  በፖምሜሮች ማይክሮachንግ (ሚሜማሻን) ውስጥ እነዚህ የዩ.ኤስ. ኤል ጨረሮች ጥሩ አፈፃፀም ስላካሄዱ የኬር ማሞቅ ማክሮኬሚኒንግ ሲስተም ጥቅም ላይ ውለው ነበር. የጭን ሽፋን ዘዴዎች የተለያዩ ነገሮችን ለማጥላላት ይጠቀሙበታልየፖሊሜሪክ ናሙናዎች ናሙናዎች እየተካሄዱ ነው.

የጭን ሽፋን መሰረታዊ መርሆችን ለማጣራት መሰረታዊ ማጣሪያዎች ቀደም ሲል ሪፖርት ተደርገዋል [3]. በተለይም የእጅ-ሥራን መጠቀምን የተገላቢጦሽ ባህሪዎችን ለማምረት እና ለብዙ ጥቅሞች ያቀርባል,የሚከተሉትን ጨምሮ:

   ጥቃቅን ማነጣጠሪያውን ጥልቀት, ርዝመትና መስቀለኛ መንገድ ይቆጣጠሩ.

  ለትግበራዎች ማይክሮ ማስነጢር ከፍተኛ ትክክለኛነት እና ጥረትን ያስተውሉ.

  • ለብዙ የማምረት አማራጮች ዘዴውን ወደ ትላልቅ መጠኖች ማራዘም.

  ከላይ የተጠቀሱትን ማሽኖች ላሜራ ማይክሮ ማስነገር ዘዴዎችን ለመግለጽ ለማሳየት ውክልና በአነስተኛ ማዕከላዊ (ማይክሮከርዝ) የተሠሩ ሲሆን ይህም አሁን ባለው የብረት-ሜተር መንገድ እና በጨረር መካከል ቀጥተኛ ንጽጽር ለመፍጠር ነው.ቴክኒኮች.

  በፋፕለፊት ስርዓት ውስጥ, በ 248nm በቦርዱ ርዝመት የሚሰራ እና ለኤችአርኤች እስከ 100 ኤም. ሌንስ የ 14 ሚሜ የምስል መስክ መጠን ነበረውይህም ወደ 50 ሚሊዮን የማጥመቂያ ቧንቧዎች ይፈቅዳልሜትርየ chrome-on-quartz የጭስ ሽፋን በመስፋፋቱ በአንድ ጊዜ እንዲጫኑ ይደረጋል. በራሪው አውሮፕላን ላይ አራት ማዕዘን ቅርጽ ያለው "ባለ-ፎቅ" ቅርፅ ለመፍጠር Laser beam የተሰራ እና የተለያየ ነው.በ 75 ሚሜ x 10 ሚሜ ርዝመት. ናሙናዎቹ በ XYZ ሰንጠረዦች የተቀመጡ ሲሆን, የኋለኛውን 100 ናም መፍታት እና 50 ናም ከፍታ (የፎቶ) መፍታትን ያቀርቡ ነበር. የ 0.125NA ሌን የጥልቀት ጥልቀት እንደፈጠረ ልብ ማለት ይገባልበግምት±16ሜትርስለዚህ የእሴት አያያዝ ወጥነት ያለው የምስል ጥራት ለመጠበቅ አስፈላጊ ጉዳይ ነው. በተጨማሪ, ከመጥፋት ቦታ ጋር ቅርብ የሆነ የመኪና ንጣፍ በመጠኑ ወቅት ጥቅም ላይ የሚውል የጋዝ እርዳታ እንዲኖር ተደርጓል.ሌዘር ማይክሮ ማግኒን.

  የኬክሮሚኒንግን መመዘኛዎች በጨረር ኃይል ድግሪነት, በተወሰኑ የቦታዎች ብዛት (ለሚፈለገው ጥልቀት), ለ Laser repeaterition rate, ናሙና የእንቅስቃሴ ፍጥነት (ፍጆታ) እና ጋዝእገዛ. የመጨረሻው ናሙና ጥራት ላይ የሚኖረው ሌላኛው ግብዓት ናሙና ሶስት ማዕዘኑ ንድፎችን ከ ናሙናው ላይ ይቃኛሉ. ይህ ከዚህ በታች ተብራራል.

  ማይክሮፕሪስቶች ሁለት ጥቃቅን መስመሮች 10 ጆን ማዕዘን እንዲኖራቸውና 50 ቮልት ስፋት ሲኖራቸው ይህም ጥቃቅን ጥቃቅን ጥቃቅን ጥቃቅን ጥቃቅን ክፍሎች ጥገኛ 8.8ሜትርሜትር. በአንዳንድ የጨረር ኃይል ድግግሞሽወይም ብሩህነት, ለዚህ ጥልቀት የሚሰጡትን የኩኪቶች ቁጥር ለመወሰን ቀላል ነው, ሆኖም ግን, በምንም ዓይነት ተቀባይነት ያለው ፕሪስታቲክ ናሙና ለማምረት, ሌሎች ምክንያቶችም መታረም አለባቸው. ስእል 2 የሚያሳየው ምሳሌ ነውማይክሮ መካነር የሚሰራበት መንገድ.

  የ A ጠቃላይ መጠኖች በ A ጠቃላዩ የ A ቀራመጥ ክልል ውስጥ በ A ጠቃላዩ 8.8 ዎሜትር ጥልቀት E ንደሚያስፈልግ የምናስብ ከሆነ በ N ምስፋይ ቁጥር 2 ላይ የ N ምስሎች ሊሆኑ የሚችሉባቸው ብዙ መንገዶች ወደ ላይ ተወስኗልናሙና. ናሙናው በማነጣጠል ንድፍ በአንድ ጎን በመቃኘትና ከዚያም ናሙናውን በአምሳያው ላይ በሚገኝበት ቦታ ላይ ድጋሚ በመድገም ጠቅላላ ና ጥቃቶችን ለመድረስ ቀላሉ መንገድ በ "N shots / area" ን በመጠቀም ፍተሻ አቅጣጫናከዚያ አንድ ሙሉ ሞድ ስፋት (ማለትም ደረጃ ደረጃው = w) ይርገጣሉ. ጥድ ከግማሽ ስፋድ ርዝመት (ማለትም በ w / 2) ተከታትሮ ከሆነ, በንኪኪ አቅጣጫው ውስጥ N / 2 ጥይቶች / ቦታን መጠቀም አለባቸው. በአጠቃላይ, ቢን ደርሶ ከሆነከጣፋው ስፋት በ 1 / ሜ ርቀት ላይ, ከዚያም በ "ፍተሻ አቅጣጫው ውስጥ ያለው የክትትል መጠን" N / m መሆን አለበት. በእርግጥ ሂደቱ አንድ አነስተኛ ዑደት ለትንሽ ጊዜ እንዲያልፍ ሂደቱ ብዙ ጊዜ ሊደጋገም ይችላልከሚፈለገው ጥልቀት እና አጠቃላይ ሂደቱ በተደጋጋሚ ተደግሟል, እስከሚፈልገው ጥልቀት እስከሚደርስ ድረስ. ስለዚህ,

  ጠቅላላ ጥቃቶች N = L S m

  L የሂሳብ ቅደም ተከተሎች ቁጥር, ኤስ (S) በ "ፍተሻ አቅጣጫው" ውስጥ ያለው የኩኪስ ቁጥር መጠን ነው. m "ናሙና ደረጃውን ከፋይ" ("ጥምዝ" በ "1/3" m = 3).

  የ L, S እና m ያሉት ሶስቱ ልኬቶች ጥምረት, ማይክሮ-ፕላስተር ባህርያት ጥራት, በተለይም ጥቃቅን ማይክሮሶፍትስ "ፊቶች" ንጣፍ ናቸው. በተለይ, S, በማንሸራተቻው ውስጥ በያንዳንዱ ቦታ የክትቻው ብዛትመመሪያው, በጣም ትልቅ ነው, ከዚያም የፕሪሚስቲክ ንጣፍ (ዊሊየም) ቀለበቱ ክብደቱ ይቀንሳል, ምክንያቱም ናሙናው በጥራዞች መካከል ከፍተኛ ርቀት ስለሚኖር. ይህ በምስል 3 ውስጥ ምስጢራዊ ኤሌክትሮኒካዊ ማይክሮግራፍ (ኤም.ኤም.) የተባይ ማጥናት ያሳያልተጨምረው ወደ <ፖልካርቦቦታል> ተቀጥቷል. ጠቃሚ & quot; እርምጃዎች & quot; በግድግዳዎች ፊት ላይ ይታያል.

  ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ማይክሮኒዝሞች የሚሠሩት በ 1 ጂ / ሴ. የኦክስጂን, የናይትሮጅን, ሂሊየም እና የአየር አየር ድጋፍ ጋዞችም እንዲሁ ተገኝተዋልበክፍል 2.2.5 ውስጥ ተገልጿል.

  2.2 የላለ-ማሻሪያ-የተሰሩ አወቃቀሮች አወቃቀር

  የፖምፈር ምርቶች ከ ~ 50 ሚሜ x 50 ሚሜ ያላቸው በ 10 ጥረቶች ተቆፍሮና ከጨረር አጉሊ መነፅር, ኤሌክትሮሜይል አጉሊ መነፅር, ኢንተርፍርሜትሪ እና ማበታተን ትንተና በመመርመር ተመርተዋል. እነዚህ ናሙናዎች ሁለቱንም ይገመገማሉበጥሩ ሁኔታ እና በቁጥር - ለእነዚህ ሕንፃዎች የመጨረሻ ምርቶች (optical display devices) ስለሆኑ ለዓይነታቸው ያለው ጥራት ያለው ገጽታ በጣም አስፈላጊ የሆነ መለኪያ ነው.

  2.2.1 የተስተካከሉ መዋቅሮች

  ስእል 4 የ 10 ዓመት የ SEM ምስል ያሳያል°የተሻሻለ የላቲት ማሽን ማራባትን በመደበኛነት እና ሊባዛ የሚችል ባህሪ የሚያሳይ ማይክሮባክቸር ወደ ፖልካርቦኔት. የ 50 ሚሜ ርዝመት ናሙና 1000 ያህል ቅሪቶች አሉትጥራቶች እና የ ~ 2 ቅደም ተከተሎች ለውጦችሜትርእነዚህ ኩባንያዎች በየጊዜው በሚለዋወጡት ለውጥ ይመለከታሉ.

በተጨማሪም የ Zygo interfereometer እንደ አንድ የናሙና ማዕከላዊ ማዕከላት እና የ 3 ዲ አምሳያ እና የተሻሉ የተገኘ መረጃን በስእል 5 ላይ ተጠቅሞ ለመለካት ጥቅም ላይ ውሏል.~ 8.8ሜትርm ከተመረጠው እሴት ጋር በትክክል ይጣጣማል, እንዲሁም ከጎረቤቶቹ ጥርትሮች እና ቅንነት በግልጽ የሚታይ ነው.

ከላይ በስእል 1 ላይ እንደሚታየው የብርሃን አምሳያ መዋቅር ዋና ዋና ሚና ከትላልቅ ቅንጫዊ አንጓዎች ወደ አመቺ አቅጣጫ እንዲመራ ማድረግ እና በ <30 የሚከሰት የብርሃን ክስተትን በቀላሉ ማሳየት ይችላል.° ወደ መደበኛውአቅጣጫ ይዛወራሉወደ 10 በመሄድ° ታሪካዊ መዋቅሮች ጥቅም ላይ ይውላሉ. ይህም ነጭ ብርሃን ማጉያ በመጠቀም ከላሳ በተቀነባበሩ ናሙናዎች ላይ ስለሚንፀባረቀው የማን አንፃራዊነት መጠንን በመለካት ተረጋግጧል. ስእል 6 የሚያሳየው ፖላ ሴሬን እና መስቀለኛ ክፍልን ነውየብርሃን ጥልቀት እንደ አንግል ተግባር ይለካል. የግብዓት ብርሃን በ 30 አንግል ማዕዘን ነበር° ወደ መደበኛው እና ሁለት የማሳያ ጫፎች ይታያሉ. በግራ በኩል ያለው ሰፊ ከፍተኛ (ጫፍ & quot; A & quot;) ከ 10 ናቸው° ማይክሮኒዝምወደ ቀኝ መዞር ሲገባ በቀኝ በኩል ያለው ጠባብ ጫፍ (ጫፍ & quot; B & quot;) የሚከሰተው ከፓርቦርቦኔት ፊት ለፊት ነው.

2.2.2 ከሌሎች ጋር በመተባበር የተሻሉ አወቃቀሮችን ይለዋወጡ

  እንደ ስዕል 1 እንደሚታየው የተለመደው የማሳያ መሣሪያ በአብዛኛው በቅድመ ወራጅነት መዋቅር ፊት ለፊት ብቅ ብቅል ያለው ሲሆን ይህንንም መጨመር ተመሳሳይ በሆነ መንገድ ይለካል. ምስል 7 ውጤቱን ያሳያልከብርሃን ናሙና ና ከማንፃራምና ከአንጓዳዊ ቅርፅ ቅንብር ጥራዝ ነጠብጣብ.

  እንደሚጠበቀው, የማሰራጫው ናሙና በራሱ በራሱ በ 30 ኙ ዙሪያውን ለመንከባከብ እና ከዋናው አንጸባራቂ አንግል አንፃር ላይ ያለውን ብርሃን°  ስፔል ነጸብራቅ አንግል. የ 10 ይጨምራል°  ጥቃቅን እፅዋቶች አሉለመስተዋወቂያው ምቹ የሆኑ እይታዎችን ለናሙና በማቅረብ እና በመደበኛነት ወደ ናሙና ይለካሉ.

  ምንም እንኳን የቅድመ-ወሳጅ መዋቅሮች አጠቃቀም ብርሃንን በዋናነት በአንድ ጎን እንደሚያዞር አድርገው ቢቆጥሩም, በዚህ ውይይት ላይ ያሉት የማሳያ መተግበሪያዎችም በሌላ ብርሃን ላይ መኖሩን ይጠቀማሉ.በሁለቱም ጎኖች ላይ የብርሃን ሥርጭትን ማዛባት ጎጂ ውጤት ላይሆን ይችላል. ለዚህም ነው በቁጥር 4 ላይ እንደሚታየው በግድግዳዎች ፊት ላይ ትንሽ ያልተመሳሰለ ሁኔታ አነስተኛ ነው.

  2.2.3 የማስተርጎም አወቃቀሮች

  ማይክሮፕራይስቶች ሙሉ ለሙሉ በሚተላለፉ ሁነታዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ከሆነ, ለምሳሌ በ figure 1 ላይ እንደሚታየው የጀርባው ብርሃን አማራጭ, ብርሀን በ <10 ላይ ባለው ናሙና መተላለፍ አለበት ተብሎ ይጠበቃል.° በመደበኛ ክስተት በመደበኛነት ወደ መደበኛውማብራት. ለዚህ የተለመደው የብርሃን ጨረር ተግባር የተተነካውን የብርሃን መጠን እንደ መለኪያ ሆኖ በመለካት ውጤቱ በ 8 ላይ ተገልጿል.

  2.2.4 ሚሜላ ማስንድ የማመቻቸት

  ቀደም ሲል እንደተጠቀሰው, ያልተጣራ ወቅታዊ ሕዋሳት የዓይናችን የስሜት ሕዋሳትን አጠቃላይ የማሽኑ ሂደት በአንጻራዊነት ቸልተኝነት በማስተካከል ወይም በማተኮር ስህተቶችን ያደርገዋል. ለምሳሌ ያህል, የ ወይም (ከላይ እንደተብራራው በክፍል 2.1) የተሳሳተ ነው, ከዚያም አንድ ጥንድ ሶስት ማነጣጣር በማነጣጠር በሌላ የማጣቀሻ ቅደም ተከተል ላይ ጣልቃ በመግባት ጥቃቅን ጥቃቅን ጥራቶች እንዲወልቁ ያደርጋቸዋል. ይህ በቁጥር 9 ላይ SEM በዓይን ማየት ይቻላልከላይ በስእል 2 (መ) ላይ እንደተቀመጠው የ "ስካንዲንግ" ጠርዝ በአሁኑ ነባር ፍተሻ ላይ በጣም የተተኮረ ነው.

  የሶስት ማዕዘን ቅርፆች ቀለማቸው በጣም ዝቅተኛ መሆኑን ማየት ይቻላል. ይህም ቁጥር 1 እና ቁጥር 2 የተባሉት ፍተሻዎች ተከናውነዋል. ይህ ሁኔታ በእስር ቤቶች ጠርዝ ላይ ጥሩ ውጤት እንደማያመጣ ነው. እንደነዚህ ዓይነት ትናንሽ ልዩነቶችምርጡን ውጤት ለማግኘት በጥንቃቄ መቆጣጠር ያስፈልገዋል.

 2.2.5Gas Assist

  በዚህ ወቅት አራት የአምሳላ ስልቶች በእንዲህ ዓይነቱ ሁኔታ የተሠሩ ናቸው. አየርን, ኦክስጅን, ናይትሮጅን እና ሂሊየም ጥቅም ላይ የዋሉ ሲሆን የእያንዳንዱ የናሙና ቀለም ያለው አንጸባራቂ ምላሽ ተገኝቷል. በዐይኑየተለያዩ የጋዞች ዋነኛው ተጽእኖዎች ናሙና በተሰራው ናሙናው የሚተላለፉበት መጠን እና የብርሃን ሚዛን ማነፃፀር መሆኑን እና ይህ ተመስግኜ በተሰራው የውጤት ተመን ተወጣ. ስእል 10 በጣም የተሻሉ የከርሰ-ክምችት ማሳያዎችን ያሳያልእና ለሽምችቱ አወቃቀር (ዲዛይኖች) በጣም የከፋ እርዳታ ጋዞች ናቸው.

  በናይትሮጂን ውስጥ የሚሠራው ናሙና በጣም ሰፊ የሆነ ክልል ሲኖርበት ከሂሊዮም ናሙና ጋር በተቃራኒው የተለያየ ነጠላ ልዩነት ይታይበታል. የዚህ ልዩነት ዋነኛው ምክንያት የተመላሽ ገንዘብ መጠን ይመስላልበጨረራው ማብላያ ቅሪቶች ላይ በተለያየ መጠን እንዲበታተኑ የሚደረጉ ቁሳቁሶች. እነዚህ ምርመራዎች የኒውሮጅን ጋዝ መርዛማነት በከፍተኛ ሁኔታ የመነካካት አዝማሚያ እንዳይፈጠር በስፋት እንደሚታይ በግልጽ ያሳያልግርዛት

 3. የወደፊት እድሎች

  የኬብል ማይክሮ ማስነገር ከሚያስከትላቸው ጥቅሞች አንደኛው የሚመነጭ የመለዋወጥ ሁኔታ እና የተለያዩ ማይክሮዌር ማሽኖችን ለማምረት የሚያስችል ሰፊ ልዩነት ነው. ለምሳሌ በመሳሪያ መሳሪያ መተግበሪያዎች, ለምሳሌ, ሀየጨረር ሌይራክራጅ ማስነሻ ዘዴ በብዙ መንገዶች ሊሠራበት ይችላል:

   ግልጽ መለኪያ ኦክሳይድ (ለምሳሌ: አይ.ፒ.) ከኤሌክታይል ወይም ከሌሎች ባህሪያት መለየት

   በፖሊሜሪ እና ኦር ኤር ኤል ዲ ኤን ኤል መሳሪያዎች ላይ የንብርብሮችን መቆጣጠሪያ

  • ለበርካታ ንጣፍ ስርዓቶች የኃይለኛነት ግንኙነቶች እና ቪራዎችን ማፍለቅ

   እንደ ማይክሮነር (optical components) ያሉ ጥቃቅን ማይክሮዌልቶችን ማምረት

  ስእል 11 ለእይታ እና ለ LED ማሳያ መሳሪያዎች ብርሃን ለማመቻቸት እና ለመቆጣጠር እንዲቻል የተገነዘቡ የኦፕቲካል ማይክሮፕሮግራንት (ማይክሮካክሲን ሌንሊን ሌንንስ) እና የኦፕቲካል ሰርኩይቶችን "ፒራሚድድ" (ኮምፕሌክስ ሌንሶች) ሁለት ምሳሌዎችን ያሳያል. በመተግበሪያዎች ውስጥበዚህ ወረቀት ላይ እንደተጠቀሱት, የኬር ማይክሮ ማግኒንግ አጠቃቀም እንደ ማይክሮፕራይሞች ቅርፅን ለማስተካከል ችሎታ አላቸው, ለምሳሌ, የተለያዩ የአዕምሯዊ ድብዘዛዎች / ተለዋዋጭ ዘይቤዎችን ለመከተል,ባለ ብዙ ማዕዘን ወይም ቀጣይ-የተለያዩ ገፅታዎች ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ. እንደዚህ ዓይነት መዋቅሮች በተለመዱ የሜካኒካዊ የመሳሪያ ማሽኖች ላይ አይቻልም.

  ሌሎች እንደ ሌሎቹ ቀለማትን, የማይታዩ ወይም እጅግ በጣም ኃይለኛ-ኤለ ሌዘር ያለ ሌዘር የመሳሰሉት ሌይነን የማሳያ መሳሪያዎች በተለይም ለከፍተኛ ወሳጅ ቅርፅ ያላቸው መገልገያዎች እየጨመረ ነው. ከቀጥታ መስመር የላተራ (የላተራ) የላቀ ችሎታ (ኤሌክትሪክ) አካልቅጣቱ ሌላው የላቀ ጠቀሜታ ላፕላስቲክ ማቀነባበሪያ አብዛኛውን ጊዜ ባለ አንድ ደረጃ ድርቅ ሂደት ነው, ማለትም የሉታግራፍ ቅርፅ እና የኬሚካል ማጥፊያ እርምጃዎች ሊወገድ ይችላል. ይህ በዝናብ ላይ የተጣሉትን ዋጋዎች እንዲቀንሱ ያደርጋልየማቀናጃ ሥፍራዎች ግን እጅግ በጣም ትልቅ መጠን እንዲኖራቸው ያደርጋል.

  ከጊዜ ወደ ጊዜ በበለጡ አገልግሎት የሚሰጡ አሃዶች በርካታ ስርዓቶች እየተቀረጹ እና እየተገነቡ ሲሆን እነዚህም እንደ የመነጽር መሣሪያዎች, ማይክሮ ሜካኒካል ስርዓቶች, የኤሌክትሪክ ሰርኮች እና ተያያዥ ግንኙነቶች ያሉ ክፍሎች ሊካተቱ ይችላሉ. እንደ ይህ የላቀ መሣሪያየቴክኖሎጂ ማጠናከሪያዎች, በሌዘር ማይክሮ መርኒንግ ውስጥ በማምረት ሂደት ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል, ከዚህ በፊት ታይቶ የማያውቅ የሥራ አፈፃፀም ትክክለኛነት እንዲረጋገጥ ያስችላል.

  4. SUMMARY

  የላስቲክ ማይክሮች ማስገር በፕላሜማዎች ውስጥ በመልክያ መሳሪያዎች ውስጥ በሚመረጡ የኦፕቲካል አባለ ነገሮች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ጥቅም ላይ ውሏል. የማቀዝቀዣ ሁኔታ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን, ትላልቅ አካባቢዎችን ናሙናዎችን ለማምረት ተመቻችቷልየፈጠራ ዘዴዎችን በመጠቀም የተፈተነ ነው. ግምገማው ማይክሮ የተሰበሰቡ መዋቅሮች ከናሙናዎች የሚጠበቁ ባህርያት እንዳላቸውና ለትዕይንት መሳሪያዎች አግባብነት እንዳላቸው አረጋግጠዋል.